Capacitive MEMS accelerometer wide range modeling using artificial neural network



Document title: Capacitive MEMS accelerometer wide range modeling using artificial neural network
Journal: Journal of applied research and technology
Database: PERIÓDICA
System number: 000365916
ISSN: 1665-6423
Authors: 1
2
3
Institutions: 1Arak University, Department of Electrical Engineering, Arak. Irán
2Tehran Polytechnic University, Department of Electrical Engineering, Teherán. Irán
3Arak University, Department of Physics, Arak. Irán
Year:
Season: Ago
Volumen: 7
Number: 2
Pages: 185-192
Country: México
Language: Inglés
Document type: Artículo
Approach: Experimental, aplicado
Spanish abstract Este trabajo presenta un modelo no lineal para un acelerómetro microelectromecánico de tipo capacitivo (MEMA). Asimismo, en él se desarrollan parámetros de sistema de el acelerómetro utilizando el efecto del término cúbico del resorte de flexion plegado. Para resolver esta ecuación, usamos el método FEA. La red neuronal (RN) usa el método Levenberg–Marquardt (LM) para entrenar al sistema a fin de que tenga una respuesta más exacta. La RN diseñada puede identificar y predecir el desplazamiento de la masa móvil del acelerómetro. Los resultados de la simulación son muy prometedores
English abstract This paper presents a nonlinear model for a capacitive microelectromechanical accelerometer (MEMA). System parameters of the accelerometer are developed using the effect of cubic term of the folded–flexure spring. To solve this equation, we use the FEA method. The neural network (NN) uses the Levenberg–Marquardt (LM) method for training the system to have a more accurate response. The designed NN can identify and predict the displacement of the movable mass of accelerometer. The simulation results are very promising
Disciplines: Ingeniería
Keyword: Ingeniería eléctrica,
Acelerómetros,
Rigidez cúbica,
Redes neuronales
Keyword: Engineering,
Electrical engineering,
Accelerometers,
Cubic stiffness,
Neuronal networks
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