| Journal: | Ingeniería y ciencia |
| Database: | PERIÓDICA |
| System number: | 000272801 |
| ISSN: | 1794-9165 |
| Authors: | Arroyave Franco, Mauricio1 |
| Institutions: | 1Universidad EAFIT, Medellín, Antioquia. Colombia |
| Year: | 2006 |
| Season: | Mar |
| Volumen: | 2 |
| Number: | 3 |
| Pages: | 65-71 |
| Country: | Colombia |
| Language: | Inglés |
| Document type: | Artículo |
| Approach: | Analítico, descriptivo |
| Spanish abstract | En este trabajo se presenta un método alternativo basado en microscopia de modulación de fuerza (FMM), para la identificación de nanogotas producidas en el plasma generado por los spots catódicos de los arcos en vacío. La técnica FMM esta habilitada para la detección de variaciones en las propiedades mecánicas de una superficie, con alta sensibilidad. Se han analizado recubrimientos de nitruro de titanio (TiN) depositados sobre Silicio orientado por el proceso de arco en vacío pulsado. Se han obtenido simultáneamente imágenes de microscopia de fuerza atómica (AFM) y de microscopia FMM mediante las cuales se ha podido identificar la presencia de nanogotas. Adicionalmente se han tomado espectros de difracción de rayos X (XRD) de las muestras recubiertas. Se ha reportado la existencia de partículas contaminantes de 47 nanómetros de diámetro sobre los recubrimientos |
| English abstract | An alternative method based on force modulation microscopy (FMM) for iden- tification of nanoparticles produced in the plasma generated by the cathode spots of vacuum arcs is presented. FMM technique is enabled for the detection of variations in the mechanical properties of a surface with high sensitiveness. titanium nitride (TiN) coatings deposited on oriented silicon by pulsed vac- uum arc process have been analyzed. AFM (Atomic Force Microscopy) and FMM images were simultaneously obtained, and in all cases it was possible to identify nanoparticle presence. Further X-ray Diffraction spectra of sample coating were taken. Existence of contaminant particles of 47 nanometers in diameter was reported |
| Disciplines: | Ingeniería |
| Keyword: | Ingeniería de materiales, Ingeniería química, Microscopía, Modulación de fuerza, Fuerza atómica, Nanogotas, Arcos en vacío |
| Keyword: | Engineering, Chemical engineering, Materials engineering, Microscopy, Force modulation, Atomic force, Nanodrops, Vacuum arcs |
| Full text: | Texto completo (Ver PDF) |
