Películas delgadas de WO3 por sol-gel: propiedades estructurales y morfológicas



Document title: Películas delgadas de WO3 por sol-gel: propiedades estructurales y morfológicas
Journal: Ingeniería (Mérida, Yuc.)
Database: PERIÓDICA
System number: 000332087
ISSN: 1665-529X
Authors: 1
1
1
Institutions: 1Universidad Autónoma de Yucatán, Facultad de Ingeniería, Mérida, Yucatán. México
Year:
Season: Sep-Dic
Volumen: 13
Number: 3
Pages: 29-38
Country: México
Language: Español
Document type: Artículo
Approach: Experimental, aplicado
Spanish abstract Películas delgadas de óxido de tungsteno (WO3) han sido preparadas sobre substratos de vidrio recubiertos con óxido de indio-estaño (ITO) por el método de sol-gel con hexacloruro de tungsteno (WCl6) como precursor y alcohol isopropílico como solvente. Debido a la concentración de WCl6, alcohol isopropílico, y a la temperatura y tiempo de agitación de la solución las características de nuestras películas variaron notablemente. Las propiedades estructurales y morfológicas de estas películas fueron estudiadas empleando la difracción de rayos X (XRD) y la microscopía electrónica de barrido (SEM). Los resultados de los XRD muestran que las películas depositadas son amorfas, cristalizando en una mezcla de las fases monoclínica y tetragonal del WO3, al realizar tratamientos térmicos a 500 y 700 0C. En las imágenes SEM se observaron variaciones morfológicas en dependencia de la temperatura del tratamiento térmico (TT). Para las muestras sin TT se observaron aglomeraciones de material sin una estructura definida de los granos. Para las muestras con TT a 500 y 700 0C se observa la formación de cristales con longitudes de cientos de nanómetros. Estos cristales se agrupan formando estructuras complejas. Los análisis de espectroscopia EDAX en las zonas claras y oscuras de las imágenes SEM muestran los picos de W y O. Para las películas sin TT se encontró un pico correspondiente al cloro, que es un subproducto de la reacción. Es importante destacar que en las zonas claras hay una mayor cantidad de tungsteno definiendo esto como zonas ricas en tungsteno
English abstract Tungsten oxide thin films were grown on ITO substrates by using a sol gel technique with WCl6 as precursor, and isopropanol as solvent. The structural and morphological properties of these films were studied using X-ray diffraction and Scanning Electron Microscope. As-deposited films were amorphous and crystallized in a mixture of hexagonal and monoclinic phases after annealing at temperatures of 500 0C and 700 0C in air. The surface morphology of our films was found to be strongly dependent on the thermal annealing temperature. SEM images showed that as-grown films are formed by clusters of material without defined grain structure. After annealing at 500 oC and 700 oC surface morphology is characterized by grains. These grains have an average size of hundreds of nanometers and they form complex structures. EDAX analysis in bright and dark zones of the SEM images showed W and O peaks. For the as-grown films a low intensity Cl peak appears as a subproduct of the reaction. It is important to note that in bright zones of the films there is a major amount of W, i.e. a tungsten rich area
Disciplines: Ingeniería
Keyword: Ingeniería de materiales,
Películas,
Oxido de tungsteno,
Sol-gel,
Propiedades estructurales,
Morfología,
Espectroscopía
Keyword: Engineering,
Materials engineering,
Films,
Tungsten oxide,
Sol-gel,
Structural properties,
Spectroscopy,
Morphology
Full text: Texto completo (Ver PDF)