| Journal: | Dyna (Medellín) |
| Database: | PERIÓDICA |
| System number: | 000405374 |
| ISSN: | 0012-7353 |
| Authors: | Avila Bernal, Alba Graciela1 Bonilla, Ruy Sebastián1 |
| Institutions: | 1Universidad de los Andes, Bogotá. Colombia |
| Year: | 2012 |
| Season: | Ago |
| Volumen: | 79 |
| Number: | 174 |
| Pages: | 58-61 |
| Country: | Colombia |
| Language: | Inglés |
| Document type: | Artículo |
| Approach: | Experimental, aplicado |
| Spanish abstract | Se reporta la caracterización de la oxidación anódica local utilizando microscopía de barrido de la sonda sobre un substrato (100) de silicio. La formación de patrones varía como una función del voltaje aplicado, la humedad y velocidad de barrido. Se describe una serie de experimentos para analizar el efecto del voltaje y la dependencia de la velocidad de barrido bajo condiciones ambientales estables (50,5% de humedad relativa, 22 °C, y 767mmHg). Un mayor control de las dimensiones de lo patrones de oxido se logra a bajos voltajes y velocidades de barrido. Fracciones discretas de óxido se observan a altos voltajes independientes de la velocidad de barrido. La presencia de estos fragmentos fija un límite superior para la formación de patrones de óxido |
| English abstract | A characterization of local anodic oxidation using scanning probe microscopy is performed on a (100) silicon substrate. The formation of patterns varies as a function of voltage, humidity, and scanning speed. A set of experiments is presented to analyze the voltage and scanning speed dependence under stable environmental conditions (50.5% relative humidity, 22 °C, and 767 mmHg). A finer control of the dimensions of the local oxidation patterns is attained at low voltages and low scanning speeds. Oxide ridges are observed at high voltages independently of the writing speed. Their presence sets up an upper limit for the oxide pattern formation |
| Disciplines: | Ingeniería, Química |
| Keyword: | Ingeniería de materiales, Química organometálica, Electroquímica, Oxidación anódica, Microscopía de fuerza atómica, Nanopatrones, Silicio |
| Keyword: | Engineering, Chemistry, Materials engineering, Organometallic chemistry, Electrochemistry, Anodic oxidation, Atomic force microscopy, Nanopatterns, Silicon |
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