| Revista: | Computación y sistemas |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000344581 |
| ISSN: | 1405-5546 |
| Autores: | Mireles, José1 Ochoa, Humberto1 Hinostroza, Víctor1 |
| Instituciones: | 1Universidad Autónoma de Ciudad Juárez, Instituto de Ingeniería y Tecnología, Ciudad Juárez, Chihuahua. México |
| Año: | 2006 |
| Periodo: | Jul-Sep |
| Volumen: | 10 |
| Número: | 1 |
| Paginación: | 1-15 |
| País: | México |
| Idioma: | Inglés |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Aplicado, descriptivo |
| Resumen en español | En éste trabajo presentamos el diseño con tecnologías MEMS y análisis de un capacitor variable acoplado a actuadores térmicos. El capacitor variable está compuesto por dos componentes importantes: 1) el capacitor construído de dos capas cuadradas paralelas, en donde una placa está mecánicamente fija al sustrato y la otra es una placa movible la cual tiene resortes flexibles conectados de cada esquina de la placa al substrato, y 2) un arreglo de actuadores térmicos que separan la placa movible del substrato. Dependiendo de la potencia aplicada a los actuadores térmicos, éstos empujaran la placa variable por las secciones laterales para separar la placa del substrato, mientras que los resortes de suspensión contrarrestan la fuerza mecánica para mantener el equilibrio. Éste trabajo incluye los pasos de diseño y fabricación utilizando el proceso PolyMUMPSTM, y proporciona tablas de los resultados obtenidos destacando la funcionabilidad de los capacitares variables. Además, se presentan los resultados obtenidos utilizando el software COVENTORWARETM, donde mostramos el potencial de uso del capacitor variable para la realización de compensaciones automáticas de capacitancias dinámicas para la integración al desarrollo de osciladores de frecuencia y filtros |
| Resumen en inglés | We present the design and analysis of a MEMS variable capacitor coupled to thermal actuators. The variable capacitor is composed by two main components: 1) the capacitor built by two squared plates, which one plate is mechanically fixed to the substrate and the other is a moving plate having mechanical suspensions (springs) connected from each corner of it to the substrate, and 2) a set of thermal actuators that push the moving plate away from the substrate. Depending on the power applied on the thermal actuators, these would push up the variable plate from its sides, while the suspension pulls the plate down to the substrate for equilibrium. This work includes the design fabrication steps using PolyMUMPSTM process, and provides tables for the resulting values of the variable capacitors. The results accomplished using COVENTORWARETM software show that the variable capacitor has potential for automatic compensation of capacitances and for integration into frequency oscillators and filters |
| Disciplinas: | Ciencias de la computación |
| Palabras clave: | Ingeniería de telecomunicaciones, Sistemas microelectromecánicos, Diseño de sistemas, Radiofrecuencia, Capacitores variables, Actuadores térmicos |
| Keyword: | Computer science, Telecommunications engineering, Microelectromechanic systems, Systems design, Radiofrequency, Variable capacitors, Thermal actuators |
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