Revista: | Revista mexicana de física |
Base de datos: | PERIÓDICA |
Número de sistema: | 000114787 |
ISSN: | 0035-001X |
Autors: | Peykov, P1 Alcantara, S Aceves, M Linares, M Ramirez, C |
Institucions: | 1Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Inst Ciencias, Dep Semiconductores, Puebla. México 2Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México |
Any: | 1993 |
Període: | Feb |
Volum: | 39 |
Número: | 1 |
Paginació: | 120-127 |
País: | México |
Idioma: | Inglés |
Tipo de documento: | Artículo |
Enfoque: | Analítico |
Disciplines | Física y astronomía, Ingeniería |
Paraules clau: | Física de materia condensada, Ingeniería de instrumentos, Semiconductores, Grabado, Anisotropía, Sensores-presion, Silicio, Obleas |
Keyword: | Physics and astronomy, Engineering, Condensed matter physics, Instrumentation engineering, Semiconductors, Etching, Anisotropy, Pressure sensors, Silicon, Wafers |
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