Elipsometria de filmes finos
Título del documento: Elipsometria de filmes finos
Revista: Spectrum
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000041582
ISSN: 0101-1529
Autores: 1
Instituciones: 1Gaertner Scientific Corp, Chicago, Illinois. Estados Unidos de América
Año:
Periodo: Jul-Ago
Volumen: 2
Número: 8
Paginación: 79-81
País: Brasil
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Teórico, aplicado
Disciplinas: Física y astronomía
Palabras clave: Física de partículas y campos cuánticos,
Optica,
Elipsometría,
Películas delgadas
Keyword: Physics and astronomy,
Optics,
Particle physics and quantum fields,
Elipsometry,
Thin films
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