Papel del diagrama de distribución de especies en el depósito de capas delgadas semiconductoras por baño químico



Título del documento: Papel del diagrama de distribución de especies en el depósito de capas delgadas semiconductoras por baño químico
Revista: Revista mexicana de ingeniería química
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000403740
ISSN: 1665-2738
Autores: 1
1
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Instituciones: 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, Mérida, Yucatán. México
Año:
Periodo: Abr
Volumen: 15
Número: 1
Paginación: 209-220
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Experimental, aplicado
Resumen en español En este trabajo se describe la metodología para obtener el diagrama de distribución de especies para depositar películas delgadas por la técnica de baño químico en forma controlada. El diagrama de especies obtenido resulta de gran utilidad para la predicción de las condiciones fisicoquímicas adecuadas para conseguir mayor control en el depósito de los materiales. Usando como reactivos químicos del baño el ZnCl2 (ZnSO4), KOH, NH4NO3 y SC(NH2)2 , así como las reacciones químicas más probables entre las especies formadas por estos reactivos, un rango de temperatura de depósito (entre 25 y 90 °C) y diferentes concentraciones de los reactivos, se obtuvieron los diagramas de distribución de especies como función del pH. Usando los diagramas de especies, se realizaron depósitos usando diferentes condiciones para corroborar su importancia en la obtención de películas delgadas de ZnS, ZnO y Zn(OH)2 con alta calidad óptica y estructural. Los resultados indican que las mejores condiciones para obtener películas de alta calidad pueden cambiar con la temperatura del baño y con la concentración de los reactivos utilizados
Resumen en inglés In this work, the methodology for obtaining the species distribution diagrams for depositing semiconductor films by chemical bath is discussed. The species distribution diagrams are useful for predicting the physicochemical conditions for achieving major control for materials deposition. By using ZnCl2 or ZnSO4, KOH, NH4NO3 and SC(NH2) 2 as chemical reagents for the bath, as well as the most probably chemical reactions between these chemical reagents, a range of deposition temperature (from 25 to 90 °C) and the different species formed by these reagents concentrations, the species distribution diagrams as a function of the pH were obtained. By using the species diagrams, thin films were deposited under different conditions in order to highlight their importance to obtain ZnS, ZnO and Zn(OH)2 thin films with better optical and structural qualities. The results indicate that the better conditions for obtaining the high quality films can change with the bath temperature and with the concentrations of the chemical reagents
Disciplinas: Química,
Ingeniería
Palabras clave: Ingeniería de materiales,
Ingeniería química,
Capas delgadas,
Sulfuro de zinc,
Depósito por baño químico,
Diagramas de distribución de especies
Keyword: Chemistry,
Engineering,
Chemical engineering,
Materials engineering,
Thin layers,
Zinc sulphide,
Chemical bath deposition (CBD),
Species distribution diagrams
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