Effects of carbon on dynamic annealing and on electrical activation of dopants in silicon substrate
Título del documento: Effects of carbon on dynamic annealing and on electrical activation of dopants in silicon substrate
Revista: Brazilian journal of physics
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000005194
ISSN: 0103-9733
Autores: 1
Instituciones: 1Universidade Federal do Rio Grande do Sul, Instituto de Física, Porto Alegre, Rio Grande do Sul. Brasil
Año:
Periodo: Jun
Volumen: 24
Número: 2
Paginación: 538-542
País: Brasil
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplinas: Física y astronomía
Palabras clave: Física atómica y molecular,
Física de materia condensada,
Silicio,
Carbono,
Dopantes,
Cristales,
Implantación,
Activación eléctrica
Keyword: Physics and astronomy,
Atomic and molecular physics,
Condensed matter physics,
Carbon,
Silicon,
Dopants,
Crystals,
Implantation,
Electrical activation
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