Deposicao de silicio com elevado grau de pureza a partir do triclorosilano
Título del documento: Deposicao de silicio com elevado grau de pureza a partir do triclorosilano
Revista: Metalurgia ABM
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000073456
ISSN: 0026-0983
Autores: 1
Instituciones: 1Universidade Estadual de Campinas, Campinas, Sao Paulo. Brasil
Año:
Periodo: Mar
Volumen: 37
Número: 280
Paginación: 139-143
País: Brasil
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Experimental, aplicado
Disciplinas: Ingeniería
Palabras clave: Ingeniería metalúrgica,
Alta pureza,
Deposición,
Silicio,
Triclorosilano
Keyword: Engineering,
Metallurgical engineering,
Deposition,
High purity,
Silicon,
Trichlorosilane
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