Realization of a phase shifting interferential microscope and its application to the high resolution profilometry
Título del documento: Realization of a phase shifting interferential microscope and its application to the high resolution profilometry
Revista: Instrumentation & development
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000021146
ISSN: 0187-8549
Autores: 1
Instituciones: 1Universidad Simón Bolívar, División de Ciencias Físicas y Matemáticas, Caracas, Distrito Federal. Venezuela
Año:
Volumen: 3
Número: 4
Paginación: 53-58
País: México
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplinas: Física y astronomía,
Ingeniería
Palabras clave: Optica,
Ingeniería de instrumentos,
Perfilometria,
Corrimiento de fase,
Metrología,
Microscopio interferencial
Keyword: Physics and astronomy,
Engineering,
Optics,
Instrumentation engineering,
Profilometry,
Phase shifting,
Optic metrology,
Interferential microscope
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