The corrosion resistance and microstructure of UBM system-deposited NbxSiyNz thin films
Título del documento: The corrosion resistance and microstructure of UBM system-deposited NbxSiyNz thin films
Revista: Ingeniería e investigación
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000442266
ISSN: 0120-5609
Autors: 1
1
1
Institucions: 1Universidad Nacional de Colombia, Bogotá. Colombia
Any:
Període: Dic
Volum: 32
Número: 3
Paginació: 10-13
País: Colombia
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Experimental
Disciplines Química
Paraules clau: Corrosión,
Microestructuras,
Película Nbx-Siy-Nz,
Películas delgadas
Keyword: Corrosion,
Nb-Si-N films,
Microstructures,
Thin films
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