Ion beam analyses in titanium nitride technology
Título del documento: Ion beam analyses in titanium nitride technology
Revista: Brazilian journal of physics
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000003193
ISSN: 0103-9733
Autors: 1
Institucions: 1Universidade Federal do Rio Grande do Sul, Instituto de Física, Porto Alegre, Rio Grande do Sul. Brasil
Any:
Període: Sep
Volum: 23
Número: 3
Paginació: 243-252
País: Brasil
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplines Física y astronomía
Paraules clau: Física atómica y molecular,
Física de materia condensada,
Iones,
Cubiertas,
Haz-analisis,
Películas delgadas
Keyword: Physics and astronomy,
Atomic and molecular physics,
Condensed matter physics,
Ions,
Coatings,
Thin films,
Beam analysis
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