| Revista: | Superficies y vacío |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000377828 |
| ISSN: | 1665-3521 |
| Autores: | Yate, L1 Caicedo, J. M1 Zambrano, G1 Caicedo, J. C2 Ipaz, L2 Muñoz, J3 Cortés, C4 Prieto, P1 |
| Instituciones: | 1Universidad del Valle, Centro de Excelencia en Nuevos Materiales, Cali, Valle del Cauca. Colombia 2Universidad del Valle, Escuela de Ingeniería de Materiales, Cali, Valle del Cauca. Colombia 3Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México 4Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación e Innovación Tecnológica, México, Distrito Federal. México |
| Año: | 2008 |
| Periodo: | Sep |
| Volumen: | 21 |
| Número: | 3 |
| Paginación: | 30-32 |
| País: | México |
| Idioma: | Español |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Experimental, aplicado |
| Resumen en español | Se obtuvieron películas delgadas de carburo de tungsteno (W–C) por la técnica de deposición física de vapor con radiofrecuencia (RF – 13.56 MHz – magnetron co–sputtering) en gas argón a partir de un blanco compuesto de carbono C (99.9%) y tungsteno W (99.9%) con diferentes concentraciones de W y C. Las películas delgadas se depositaron a temperaturas en el rango de 300 a 500°C sobre substratos de silicio (100) y acero AISI D3. El análisis de difracción de rayos X mostró que se obtienen dos fases de W–C: carburo de tungsteno W–C hexagonal y subcarburo W2C ortorrómbico. Estas fases dependen directamente de la concentración de tungsteno en el blanco compuesto y de la temperatura de deposición. Los resultados de espectroscopia de infrarrojo con transformada de Fourier de las películas depositadas a partir de diferentes blancos compuestos muestran la presencia de una banda de absorción a 1730 cm–1 asociada con los grupos carbonilo (C=O) y una banda ancha cerca de 1340 cm–1 en la cual hay dos modos de la fase cúbica y hexagonal del W–C en 1144 y 1220 cm–1, respectivamente |
| Resumen en inglés | Tungsten Carbide (W–C) thin films were obtained by R. F. (13.56 MHz) magnetron co–sputtering process in an argon background gas, from mosaic targets of carbon C (99.9%) and tungsten W (99.9%) with different W and C concentrations. Thin films were deposited at temperatures between 300 and 500 °C onto the silicon (100) and AISI D3 steel substrates. X–ray diffraction analysis shows the different hexagonal WC and orthorhombic W2C subcarbide obtained phases, directly depending on tungsten concentration in the mosaic targets, and on the deposition temperature. Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) results of films deposited from different mosaic targets revealed the presence of a peak at 1730 cm–1 associated to the C=O, carbonyls groups and a broad band centered near 1340 cm–1 in which there are two modes of cubic and hexagonal phases of W–C at 1144 and 1220 cm–1, respectively |
| Disciplinas: | Ingeniería |
| Palabras clave: | Ingeniería de materiales, Películas delgadas, Carburo de tungsteno, Erosión catódica, Magnetron |
| Keyword: | Engineering, Materials engineering, Thin films, Tungsten carbide, Sputtering, Magnetron |
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