Actuadores chevron MEM con reguladores de movimiento



Título del documento: Actuadores chevron MEM con reguladores de movimiento
Revista: Programación matemática y software
Base de datos:
Número de sistema: 000573100
ISSN: 2007-3283
Autores: 1
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Instituciones: 1Centro de Investigación en Ingeniería y Ciencias Aplicadas, CIICAp, Universidad Autónoma del Estado de Morelos, UAEM,
2Doctorado en Ingeniería y Ciencias Aplicadas, CIICAp, UAEM Avenida Universidad 1001, col. Chamilpa. Cuernavaca, Morelos. México. CP 62209,
Año:
Volumen: 7
Número: 3
Paginación: 58-65
País: México
Idioma: Español
Resumen en inglés This paper presents the analysis and design of a MEMS chevron structure with motion regulators, actuated by heat. The structure is analyzed considering different inclination angles, numbers of beams and shapes of bosses, in order to provide a larger shuttle displacement. Designs were developed in Autodesk Inventor and simulations in Ansys Workbench 15.0. In addition, a performance comparison respect to conventional chevron was realized.
Resumen en español En este artículo se presenta el análisis y diseño de una estructura chevron MEM con reguladores de movimiento, actuada por calor. La estructura se analizó considerando diferentes ángulos de inclinación, número de brazos y formas de reguladores de movimiento, con la intención de obtener un mayor desplazamiento de la flecha. Los diseños se realizaron en Autodesk Inventor y las simulaciones en Ansys Workbench 15.0. Se presentan, además, comparaciones del desempeño de la estructura con respecto al chevron convencional.
Palabras clave: regulador de movimiento,
microestructura,
frecuencia natural,
fuerza y desplazamiento
Keyword: boss,
microstructure,
natural frequency,
force and displacement
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