| Revista: | Journal of applied research and technology |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000367681 |
| ISSN: | 1665-6423 |
| Autores: | Rendón, G1 Poot, P1 Oliva, A. l2 Espinosa Faller, F. J1 |
| Instituciones: | 1Universidad Marista de Mérida, Escuela de Ingeniería, Mérida, Yucatán. México 2Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, Mérida, Yucatán. México |
| Año: | 2012 |
| Periodo: | Ago |
| Volumen: | 10 |
| Número: | 4 |
| Paginación: | 549-556 |
| País: | México |
| Idioma: | Inglés |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Analítico, descriptivo |
| Resumen en español | Se presenta el diseño y la fabricación de un calentador de sustratos con control de temperatura para preparar películas delgadas en un sistema de depósito de alto vacío. El calentador de sustratos fue elaborado usando vitrocerámica y una lámina de molibdeno como elemento calefactor. La energía aplicada y la temperatura del calentador de sustrato son controladas a través de una tarjeta controladora de potencia usando un microcontrolador programado con un algoritmo basado en un sistema de control proporcional-integral-derivativo. El sistema calentador/controlador propuesto fue evaluado a las temperaturas de 100, 200, 300 y 400 °C. El sistema proporciona una regulación de temperatura menor a ±0.5 °C para todas las temperaturas evaluadas. La aplicabilidad del calentador de sustratos se demostró depositando películas delgadas de oro sobre sustratos de vidrio calentados |
| Resumen en inglés | A simple substrate heater and its temperature controller were designed and built in order to prepare thin films in a high vacuum deposition system. The substrate heater was elaborated with a glass-ceramic body and a molybdenum foil heater. The applied power and the temperature are regulated by a power controller board using a microcontroller programmed with a proportional-integrative-derivative algorithm. The heater/controller system was tested in a high vacuum deposition system and the results of its characterization at 100, 200, 300 and 400 °C are presented. A variation in temperature better than ± 0.5 °C was obtained for all the tested temperatures. An application of the substrate heater is demonstrated by evaporating gold thin films on heated glass substrates |
| Disciplinas: | Ingeniería |
| Palabras clave: | Ingeniería de materiales, Calentadores de substratos, Controladores de temperatura, Películas delgadas, Depósito de alto vacío |
| Keyword: | Engineering, Materials engineering, Substrate heaters, Temperature controllers, Thin films, High vacuum deposition |
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