La deposición química de cobre
Título del documento: La deposición química de cobre
Revista: Investigación científica (Zacatecas, Zac.)
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000227765
ISSN: 0188-5367
Autores: 1
2
Instituciones: 1Universidad Autónoma de Zacatecas, Facultad de Ciencias Químicas, Zacatecas. México
2Universidad Autónoma de Guadalajara, Departamento de Química, Guadalajara, Jalisco. México
Año:
Periodo: Feb
Volumen: 1
Número: 9
Paginación: 24-29
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Revisión bibliográfica
Enfoque: Descriptivo
Disciplinas: Ingeniería
Palabras clave: Ingeniería química,
Deposición química,
Cobre,
Películas
Keyword: Engineering,
Chemical engineering,
Chemical vapor deposition,
Copper,
Films
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