Efecto de la relación presión-mezcla N2/Ar en el proceso para películas delgadas de TiN



Título del documento: Efecto de la relación presión-mezcla N2/Ar en el proceso para películas delgadas de TiN
Revista: Elementos (Puebla, Pue.)
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000255040
ISSN: 0187-9073
Autores: 1
2
Instituciones: 1Instituto Tecnológico de Zacatecas, Zacatecas. México
2Instituto Tecnológico de Saltillo, Saltillo, Coahuila. México
Año:
Periodo: Ene-Mar
Volumen: 13
Número: 61
Paginación: 59-61
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Experimental, analítico
Disciplinas: Química,
Ingeniería
Palabras clave: Química industrial,
Ingeniería de materiales,
Nitruro de titanio,
Películas delgadas,
Colorimetría,
Recubrimientos
Keyword: Chemistry,
Engineering,
Industrial chemistry,
Materials engineering,
Titanium nitride,
Thin films,
Colorimetry,
Coatings
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