Fabricación y caracterización de inductores sobre silicio



Título del documento: Fabricación y caracterización de inductores sobre silicio
Revista: Superficies y vacío
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000252049
ISSN: 1665-3521
Autores: 1




Instituciones: 1Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México
Año:
Periodo: Dic
Volumen: 13
Paginación: 44-49
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Experimental, descriptivo
Disciplinas: Ingeniería
Palabras clave: Ingeniería de materiales,
Inductores,
Circuitos integrados,
Fabricación
Keyword: Engineering,
Materials engineering,
Inductors,
Integrated circuits,
Fabrication
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