Studies of very small grain of CVD diamond from an enhanced microwave discharge surface wave guide system
Título del documento: Studies of very small grain of CVD diamond from an enhanced microwave discharge surface wave guide system
Revista: Projecoes - Universidade Sao Francisco
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000172490
ISSN: 0103-7757
Autores: 1
Instituciones: 1Universidade Sao Francisco, Itatiba, Sao Paulo. Brasil
2Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais, Sao Jose dos Campos, Sao Paulo. Brasil
Año:
Periodo: Ene-Dic
Volumen: 18
Paginación: 87-93
País: Brasil
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplinas: Física y astronomía,
Química
Palabras clave: Física de materia condensada,
Fisicoquímica y química teórica,
Diamante,
Deposición de vapor químico,
Películas delgadas,
Guías de ondas,
Plasma,
Cuarzo
Keyword: Physics and astronomy,
Chemistry,
Condensed matter physics,
Physical and theoretical chemistry,
Diamond,
Chemical vapor deposition,
Thin films,
Surface waveguides,
Plasma,
Quartz
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