Different devices to elaborate thin films
Título del documento: Different devices to elaborate thin films
Revista: Instrumentation & development
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000204193
ISSN: 0187-8549
Autores: 1
Instituciones: 1Universidad Nacional Autónoma de México, Instituto de Ingeniería, México, Distrito Federal. México
2Universidad Nacional Autónoma de México, Instituto de Física, México, Distrito Federal. México
3Chinese Academy of Sciences, Ceramics Institute of Shanghai, Shanghai. China
Año:
Volumen: 3
Número: 7
Paginación: 3-8
País: México
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplinas: Física y astronomía,
Ingeniería
Palabras clave: Física de materia condensada,
Ingeniería de instrumentos,
Películas delgadas,
Evaporación térmica,
Filamentos,
Cañones de electrones,
Técnica de sputtering
Keyword: Physics and astronomy,
Engineering,
Condensed matter physics,
Instrumentation engineering,
Thin films,
Thermal evaporation,
Filaments,
Electron guns,
Sputtering technique
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