| Revista: | Ingeniería (Mérida, Yuc.) |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000336827 |
| ISSN: | 1665-529X |
| Autores: | Oliva Arias, A1 López Garduza, F Sosa, V.I1 |
| Instituciones: | 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, Mérida, Yucatán. México |
| Año: | 2006 |
| Periodo: | May-Ago |
| Volumen: | 10 |
| Número: | 2 |
| Paginación: | 57-65 |
| País: | México |
| Idioma: | Inglés |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Experimental, aplicado |
| Resumen en español | El espesor es un factor clave sobre las propiedades físicas en la nueva tecnología miniaturizada de los dispositivos de película delgada. Las propiedades físicas de las películas delgadas dependen del espesor y de su control. Este artículo resalta la importancia de conocer con gran aproximación el valor del espesor de películas delgadas. Se han realizado muchos esfuerzos a lo largo del tiempo para desarrollar técnicas de medición del espesor para obtener un valor confiable. En este trabajo se discuten en forma breve, algunas técnicas implementadas para medir el espesor y se propone una técnica simple basada en las variaciones de resistencia eléctrica para medir y controlar in situ el espesor de películas delgadas metálicas con buena resolución. Se depositaron capas delgadas de oro con las técnicas de evaporación libre y sputtering, con el objetivo de aplicar el método propuesto para medir y controlar el espesor de las películas depositadas |
| Resumen en inglés | Thickness is a key factor on the physical properties of the new miniaturized technology of thin film devices. Thin film physical properties depend on the thickness value and its control. This paper highlights the importance of the accurate determination of the thickness in thin films. Many efforts have been made through the years to develop reliable thickness measurement techniques. In this work, some of these techniques implemented to measure the thickness are briefly discussed. A theoretical model for film thickness determination was discussed. We proposed a simple method based on the variations of electrical resistance of a probe film to measure and control in situ the metallic film thickness with good resolution. Gold films were deposited by free evaporation and sputtering in order to apply the proposed method to measure and control the film thickness |
| Disciplinas: | Ingeniería |
| Palabras clave: | Ingeniería de materiales, Películas metálicas, Grosor de películas, Resistencia eléctrica, Películas delgadas |
| Keyword: | Engineering, Materials engineering, Metallic films, Film thickness, Electrical resistance, Thin films |
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