Uso del microscopio confocal para la caracterización dimensional en micromecanizados (step height)



Título del documento: Uso del microscopio confocal para la caracterización dimensional en micromecanizados (step height)
Revista: Ingeniería mecánica, tecnología y desarrollo
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000382392
ISSN: 1665-7381
Autores: 1
2
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1
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Instituciones: 1Universidad Autónoma de San Luis Potosí, Facultad de Ingeniería, San Luis Potosí. México
2Universidad Politécnica de Madrid, Departamento de Física Aplicada, Madrid. España
Año:
Periodo: Mar
Volumen: 4
Número: 2
Paginación: 73-80
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Aplicado, descriptivo
Resumen en español La elaboración de dispositivos cuyas dimensiones son del orden de los micrómetros requiere sistemas de medición que verifiquen no sólo sus características cualitativas sino también cuantitativas. Aún cuando existen una gran gama de equipos que pueden ser utilizados para este fin, la microscopía confocal se da a conocer como una técnica viable en el campo de la ingeniería, inclusive algunos fabricantes están especializando sus equipos en las áreas de ingeniería de materiales y en aspectos meramente dimensionales. Sin embargo, es necesario estimar su incertidumbre y asociarle el grado de dispersión que le corresponde. En el presente trabajo se muestra cómo obtener la diferencia de alturas en superficies topográficas generadas en 3D, para ello se utiliza un patrón de alturas y se realiza toda una serie de pruebas que consideran entre otras cosas; el objetivo utilizado y sus diferentes amplificaciones, el campo de medida y la posición del mensurando. Finalmente se analiza toda la información mediante el uso de gráficas que muestran las incertidumbres estimadas a lo largo de todo el proceso
Resumen en inglés The development of devices whose dimensions are of the order of magnitude of micrometers requires measurement systems to verify not only their quantitative but also qualitative characteristics. Even though there is a wide range of equipments that can be used towards this end, confocal microscopy reveals itself as a feasible technique in the engineering field, even some manufacturers are specializing their equipment in the areas of materials science and metrology. However, it is necessary to estimate their uncertainty and determine its degree of dispersion. In the present work it shown how to obtain the height differences from 3D generated topographical surfaces, to do it a height standard is used and a series of tests is performed that consider, among other things, the lens used and different magnifications, the field of measurement and the position of the object to be measured. Finally the information is analyzed by using graphs showing the estimated uncertainties throughout the entire process
Disciplinas: Ingeniería
Palabras clave: Ingeniería mecánica,
Metrología,
Micromecánica,
Microscopía confocal
Keyword: Engineering,
Mechanical engineering,
Metrology,
Micromechanics,
Confocal microscopy
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