Aseguramiento matematico para el diseno automatizado del proceso de implantacion ionica. Parte ii
Título del documento: Aseguramiento matematico para el diseno automatizado del proceso de implantacion ionica. Parte ii
Revista: Ingeniería electrónica, automática y comunicaciones
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000099144
ISSN: 0258-5944
Autores: 1
Instituciones: 1Instituto Superior Politécnico "José Antonio Echeverría", Centro de Investigaciones en Microelectrónica, La Habana. Cuba
Año:
Volumen: 9
Número: 2
Paginación: 162-168
País: Cuba
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Teórico
Disciplinas: Ingeniería,
Matemáticas
Palabras clave: Ingeniería electrónica,
Matemáticas aplicadas,
Iones-implantacion,
Simulación matemática,
Diseño,
Multicapas
Keyword: Engineering,
Mathematics,
Electronic engineering,
Applied mathematics,
Ions implantation,
Mathematical simulation,
Design,
Multilayers
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