| Revista: | Ingeniería electrónica, automática y comunicaciones |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000097185 |
| ISSN: | 0258-5944 |
| Autores: | Gonzalez Gonzalez, P |
| Año: | 1989 |
| Volumen: | 10 |
| Número: | 4 |
| Paginación: | 299-304 |
| País: | Cuba |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Descriptivo |
| Disciplinas: | Ingeniería, Ciencia y tecnología |
| Palabras clave: | Ingeniería electrónica, Tecnología, Circuitos integrados, Fabricación, Polisilicio, Reactor subatmosferico |
| Keyword: | Engineering, Science and technology, Electronic engineering, Technology, Integrated circuits, Fabrication, Polysilicon, Subatmospheric reactor |
| Solicitud del documento | |
