| Revista: | Dyna (Medellín) |
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| Número de sistema: | 000537875 |
| ISSN: | 0012-7353 |
| Autores: | DUARTE, JULIO ENRIQUE1 FERNÁNDEZ MORALES, FLAVIO HUMBERTO1 BADOSA, ESTELA MARTIN2 |
| Instituciones: | 1Universidad Pedagógica y Tecnológica de Colombia, 2University of Barcelona, Department of Applied Physics and, |
| Año: | 2011 |
| Periodo: | Abr |
| Volumen: | 78 |
| Número: | 166 |
| Paginación: | 75-80 |
| País: | Colombia |
| Idioma: | Inglés |
| Resumen en español | En el presente trabajo se describen el diseño y la caracterización de membranas bimetálicas de Al-Si, con actuación térmica. El diseño se realizó empleando el método de los Elementos Finitos y se concentró en optimizar la relación de los espesores de las capas de aluminio y silicio. La deflexión de las membranas se determinó aplicando la técnica del Interferómetro de Michelson. En la etapa experimental se utilizaron membranas cuadradas de 5 mm de lado, con un espesor de 10mm para el silicio y espesores de 4 y 1mm para el aluminio. La caracterización entregó un desplazamiento máximo de 14mm para la membrana con 4mm de Al, lo cual es consistente con los resultados obtenidos numéricamente. |
| Resumen en inglés | This paper presents the design and characterization of thermally actuated Al-Si bimetallic membranes. The design was made with the Finite Element Method and was emphasized on optimizing the thickness ratio between the aluminum and silicon layers. The membrane deflection was measured employing the Michelson Interferometer. The experimental process was carried out with square membranes of 5 mm of side length, 10mm in silicon thickness, and an aluminum thicknesses of 4 and 1mm. A maximum deflection of 14mm was obtained for membranes with 4mm of aluminum thickness, which is consistent with predictions made by numerical calculations. |
| Palabras clave: | Efecto bimetálico, Micromembranas, Interferometría, Método de los Elementos Finitos |
| Keyword: | Bietallic effect, Micromembranes, Interferometry, Finite Element Method |
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