Deviation from thermodynamic equilibrium at the initial stage of the GaN groeth by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD)
Título del documento: Deviation from thermodynamic equilibrium at the initial stage of the GaN groeth by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD)
Revista: Umbral científico
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000252140
ISSN: 1692-3375
Autores: 1
Instituciones: 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México
Año:
Periodo: Dic
Volumen: 13
Paginación: 105-109
País: Colombia
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Aplicado
Disciplinas: Ingeniería
Palabras clave: Ingeniería de materiales,
Deposición,
Nitruro de galio,
Adsorción
Keyword: Engineering,
Materials engineering,
Deposition,
Gallium nitride,
Adsorption
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