| Revista: | Superficies y vacío |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000378127 |
| ISSN: | 1665-3521 |
| Autores: | Ramos Cano, J1 González Zamarripa, G1 Soria Aguilar, María de Jesús Amézaga Madrid, P2 Hurtado Macías, A2 González Hernández, J2 Miki Yoshida, M2 |
| Instituciones: | 1Universidad Autónoma de Coahuila, Facultad de Metalurgia, Monclova, Coahuila. México 2Centro de Investigación en Materiales Avanzados S.C., Chihuahua. México |
| Año: | 2013 |
| Periodo: | Dic |
| Volumen: | 26 |
| Número: | 4 |
| Paginación: | 143-147 |
| País: | México |
| Idioma: | Español |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Experimental, aplicado |
| Resumen en español | Se depositaron películas delgadas de PbTiO3 (PT) a temperatura de 400°C en un sustrato de Pt/Ti/SiO2/Si <100> por el método de depósito químico asistido por aerosol (CVD-AA) usando precursores organometálicos. Con el propósito de estabilizar la fase Perovskita, la película fue recocida a temperaturas de 550°C por 12 horas, en una atmósfera rica en Pb. Se realizaron análisis termogravimétricos de los precursores con la finalidad de conocer la temperatura teórica de depósito. La cristalinidad de la fase antes y después del recocido fue caracterizada por difracción de rayos-X a incidencia rasante. Por otro lado, también se realizó análisis microestructural por microscopias electrónicas de barrido (MEB) y de trasmisión (MET) |
| Resumen en inglés | Thin films of PbTiO3 were deposited at a temperature of 400°C onto Pt/Ti/SiO2/Si <100> substrates by the aerosol assisted CVD method using organometallic precursors. With the purpose of stabilizing and homogenizing the Perovskite phase, the films were annealed at 550°C, in a Pb-rich atmosphere, for 12 h. Thermogravimetric analysis of the precursors were performed to determine the theoretical temperature of deposition. The crystallinity of the phase before and after annealing was characterized by grazing incidence x-ray diffraction. Additionally, microstructural analysis using scanning (SEM) and transmission (TEM) electron microscopy was also performed |
| Disciplinas: | Ingeniería |
| Palabras clave: | Ingeniería de materiales, Titanato de plomo, Películas delgadas, Materiales ferroeléctricos, Perovskita |
| Keyword: | Engineering, Materials engineering, Lead titanate, Thin films, Ferroelectric materials, Perovskite |
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