| Revista: | Superficies y vacío |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000355827 |
| ISSN: | 1665-3521 |
| Autors: | Aguilar Leyva, J1 Maldonado, A1 Olvera, M. de la L1 |
| Institucions: | 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México |
| Any: | 2012 |
| Període: | Jun |
| Volum: | 25 |
| Número: | 2 |
| País: | México |
| Idioma: | Español |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Experimental, aplicado |
| Resumen en español | En este trabajo se reportan las propiedades sensoras de películas de óxido de estaño puro, SnO2, y óxido de estaño impurificado intencionalmente con rutenio, SnO2:Ru, en una atmósfera controlada de propano, C3H8, a diferentes concentraciones y temperaturas de operación. Las películas, con espesor variable, fueron depositadas sobre substratos de vidrio sodocálcico mediante la técnica de rocío químico, a diferentes temperaturas de depósito, a saber, 300, 350, 400 y 450°C. Previamente a su caracterización, todas las películas fueron sometidas a un tratamiento térmico en vacío a 400 °C durante una hora, con el fin de estabilizar las características físicas de la superficie. Las sensibilidades de las películas fueron cuantificadas mediante la razón de cambio de la resistencia eléctrica superficial en una atmósfera de C3H8, respecto a su resistencia medida en aire. Sensibilidades máximas, del orden de 1.4 y 7.4 fueron obtenidas para las películas de SnO2 y SnO2:Ru, respectivamente |
| Resumen en inglés | In this work we report the sensing properties of undoped and ruthenium-doped tin oxide thin films (SnO2, SnO2:Ru) with different thicknesses, in a controlled atmosphere of propane gas (C3H8) at different operation temperatures. The films were deposited onto soda-lime glass substrates by the spray pyrolysis technique at different deposition temperatures, namely, 300, 350, 400, and 450°C. All the films were annealed in vacuum at 400°C during 1 h in order to stabilize the surface physical characteristics. The sensing properties of the films were characterized by the surface electrical resistance ratio in a C3H8 atmosphere, and air as reference. Maximum sensitivities, on the order of 1.4 and 7.4 were obtained for undoped SnO2, and, SnO2:Ru thin films, respectively |
| Disciplines | Ingeniería |
| Paraules clau: | Ingeniería de materiales, Oxidos semiconductores, Películas delgadas, Oxido de estaño, Sensores químicos, Propano |
| Keyword: | Engineering, Materials engineering, Semiconductor oxides, Thin films, Tin oxide, Chemical sensors, Propane |
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