| Revista: | Revista mexicana de ingeniería química |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000366044 |
| ISSN: | 1665-2738 |
| Autores: | Salazar Miranda, D1 Castillón, F. F2 Sánchez Sánchez, J. J1 Angel Valenzuela, J. L1 Márquez, H1 |
| Instituciones: | 1Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Departamento de Optica, Ensenada, Baja California. México 2Universidad Nacional Autónoma de México, Centro de Nanociencias y Nanotecnología, Ensenada, Baja California. México |
| Año: | 2010 |
| Periodo: | Abr |
| Volumen: | 9 |
| Número: | 1 |
| Paginación: | 85-90 |
| País: | México |
| Idioma: | Inglés |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Experimental, aplicado |
| Resumen en español | Este trabajo describe la fabricación y caracterización de guías de onda ópticas multimodales obtenidas a partir del polímero SU-8-2005 mediante un proceso de microlitografía. Presentamos información importante acerca de la modulación del índice de refracción en las guías de onda ópticas en función de los tiempos de pre- horneado e irradiación con luz ultravioleta. Las propiedades físicas de las guías de onda son determinadas usando la técnica de acoplamiento de prisma, microscopia óptica y microscopia electrónica de barrido |
| Resumen en inglés | This paper describes the fabrication and characterization of multimode polymer optical waveguides obtained using a SU-8-2005 polymer by means of photolithographic process. Critical information about refractive index modulation of polymer waveguides as function of fabrication parameters as pre-baked and ultraviolet exposure times is presented. Physical properties of the waveguides were determined by means prism-coupling technique, optical and SEM microscopy |
| Disciplinas: | Física y astronomía, Ingeniería |
| Palabras clave: | Optica, Ingeniería de materiales, Guías de ondas, Polímeros, Fotolitografía, Indice de refracción |
| Keyword: | Physics and astronomy, Engineering, Optics, Materials engineering, Optical waveguides, Polymers, Photolithography, Refraction index |
| Texto completo: | Texto completo (Ver HTML) |
