Multi-wavelength images detector for micro-cathodoluminescence analysis



Título del documento: Multi-wavelength images detector for micro-cathodoluminescence analysis
Revista: Revista mexicana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000461131
ISSN: 0035-001X
Autors: 1
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Institucions: 1Universidad Autónoma de Nuevo León, Facultad de Ciencias Físico-Matemáticas, San Nicolás de los Garza, Nuevo León. México
2Universidad Nacional Autónoma de México, Centro de Ciencias de la Materia Condensada, Ensenada, Baja California. México
Any:
Període: Ago
Volum: 52
Número: 4
Paginació: 342-345
País: México
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico, teórico
Resumen en español En este trabajo presentamos un novedoso instrumento capaz de colectar el espectro de emisión completo de cátodoluminiscencia, simultáneamente con imágenes de SEM. Se colecta y analiza la cátodoluminiscencia producida en un microscopio electrónico de barrido. La electrónica utilizada por el microscopio para barrer el haz de electrones y producir la imagen es utilizada por el espectrógrafo para sincronizar la adquisicion de espectros. En cada punto de la muestra se adquiere el espectro completo. Todos los datos son grabados y guardados en un archivo electrónico. Con esta información es posible reconstruir imágenes pancromáticas y/o monocromáticas de la muestra y correlacionar sus propiedades ópticas con la microestructura. En lugar de un espejo elíptico para colectar la luz, como en el sistema convencional de CL, se utiliza una sola fibra óptica. Esta nueva manera de adquirir la luz permite una reducción en la distancia de trabajo (menor a 5 mm) en el microscopio, logrando así una mejor resolucion espacial. Otra ventaja de este arreglo es que nosotros podemos usar otros modos de detección simultáneamente como los electrones retrodispersados, rayos X, etc. Se muestran algunos ejemplos para ilustrar las capacidades del instrumento
Resumen en inglés A novel instrument capable of collecting the entire cathodoluminescence emission spectrum simultaneously with SEM scanning is presented in this work. The cathodoluminescence produced in a standard scanning electron microscope is collected and analyzed. The electronic signal used by the microscope to trigger the electron raster and produce an image is also used by the spectrograph to synchronize spectrum acquisition. At each point in the sample the complete spectrum is acquired. All the data are recorded and saved in an electronic file. With this information it is possible to reconstruct panchromatic and/or monochromatic images of the sample and correlate its optical properties with its microstructure. Instead of an elliptical mirror to collect the light in the conventional CL system, a single optical fiber is used. This new way of acquiring light permits a reduction in the work distance (down to 5 mm) in the microscope, thus achieving a better spatial resolution. Another advantage of this arrangement is that we can simultaneously use other detection modes such as backscattered electrons, x-rays etc. Examples showed here illustrate the capabilities of the instrument
Disciplines Física y astronomía
Paraules clau: Optica,
Catodoluminiscencia,
Espectroscopia
Keyword: Optics,
Cathodoluminiscence,
Spectroscopy
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