Efecto de la temperatura de substrato en las propiedades estructurales, ópticas y ferroeléctricas de películas delgadas de BaTiO3 depositadas por RF sputtering
Título del documento: Efecto de la temperatura de substrato en las propiedades estructurales, ópticas y ferroeléctricas de películas delgadas de BaTiO3 depositadas por RF sputtering
Revista: Revista mexicana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000361009
ISSN: 0035-001X
Autors: 1
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4
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Institucions: 1Universidad Autónoma de San Luis Potosí, Coordinación Académica Región Altiplano, San Luis Potosí. México
2Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación en Ciencia Aplicada y Tecnología Avanzada, México, Distrito Federal. México
3Universidad de La Habana, Facultad de Física, La Habana. Cuba
4Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México
Any:
Període: Ago
Volum: 58
Número: 4
Paginació: 308-312
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico, teórico
Resumen en español Se crecieron películas delgadas de Titanato de Bario (BaTiO3) sobre substratos de cuarzo y nicromel, utilizando un blanco de BaTiO3 mediante la técnica erosión catódica por radiofrecuencia. Variamos la temperatura de substrato con el fin de determinar su efecto sobre las propiedades estructurales, ópticas y ferroeléctricas de las muestras. Los resultados de la difracción de Rayos-X indicaron que las muestras tuvieron una estructura tetragonal, aumentando su cristalinidad conforme se aumentó la temperatura de substrato. El ancho de banda prohibida disminuyo con el aumento en la temperatura de substrato, mostrando un decremento abrupto a 494.8°C. Las propiedades ferroeléctricas de las películas mostraron una dependencia con la temperatura de substrato, obteniéndose la mejor respuesta a 494.8°C
Resumen en inglés Thin Films of Barium Titanate (BaTiO3) were grown on nichrome and quartz substrates, using a BaTiO3 target, by RF-sputtering technique. We varied the substrate temperature in order to study its effect on the structural, optical and ferroelectric properties of the samples. The results of the X-Ray diffraction showed tetragonal structure with increases of the cristallinity as increases the substrate temperature. Furthermore, it observed by ultraviolet-visible (UV-VIS) spectroscopy that the band gap decreased as the substrate temperature increases showing abrupt sharp decrease at 494.8°C. The ferroelectric properties of the films showed a dependence with substrate temperature, the best ferroelectric answer was obtained at 494.8o C
Disciplines Física y astronomía,
Ingeniería
Paraules clau: Optica,
Ingeniería de materiales,
Películas delgadas,
Tratamiento térmico,
Sustrato,
Temperatura
Keyword: Physics and astronomy,
Engineering,
Optics,
Materials engineering,
Thin films,
Thermal treatment,
Heating systems,
Substrates
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