| Revista: | Ingeniería. Investigación y tecnología |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000362202 |
| ISSN: | 1405-7743 |
| Autors: | Márquez Herrera, Alfredo1 Hernández Rodríguez, Eric Noé2 Zapata Torres, Martín Guadalupe2 Cruz Jáuregui, María de la Paz3 Meléndez Lira, Miguel Angel4 |
| Institucions: | 1Universidad Autónoma de San Luis Potosí, Coordinación Académica Región Altiplano, San Luis Potosí. México 2Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación en Ciencia Aplicada y Tecnología Avanzada, México, Distrito Federal. México 3Universidad Nacional Autónoma de México, Centro de Nanociencias y Nanotecnología, México, Distrito Federal. México 4Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México |
| Any: | 2013 |
| Període: | Jul-Sep |
| Volum: | 14 |
| Número: | 3 |
| Paginació: | 317-323 |
| País: | México |
| Idioma: | Español |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Experimental, aplicado |
| Resumen en español | Películas delgadas Ferroeléctricas de BaTiO3 (BTO) se depositaron a partir de un blanco de BaTiO3 mediante la técnica de RF-Sputtering (erosión catódica por radio frecuencia) sobre substratos de nicromel y cuarzo. Se estudió el efecto de la temperatura de sustrato in-situ en la cristalinidad del material durante su depósito. Estas muestras fueron comparadas con películas depositadas a temperatura ambiente y tratadas térmicamente posterior al depósito fuera de la cámara de crecimiento. El estudio de la cristalinidad fue realizado mediante la técnica de difracción de rayos-X. Adicionalmente, se llevaron a cabo caracterizaciones ópticas mediante un espectrofotómetro UV-Vis. El crecimiento de películas delgadas con temperatura de sustrato permite la obtención de materiales cristalinos a temperaturas por debajo de las reportadas por otros autores |
| Resumen en inglés | Ferroelectric thin films of BaTiO3 (BTO) were grown on quark, and nichrome substrates using a BaTiO3 target by RF-Sputtering technique. It was studied the effect of the substrate temperature in the crystallization of the material. These samples were compared with films deposited at room temperature and heat treated out of the growth Chamber. Their crystallinity were studied by X-ray diffraction. Additionally, the optical characterizations were carried out by UV-Vis spectrophotometer. The growth of thin films with substrate temperature allows the obtaining of crystalline materials at temperatures below those reported by other authors |
| Disciplines | Ingeniería |
| Paraules clau: | Ingeniería de materiales, Ingeniería electrónica, Películas delgadas, Titanato de bario, Erosión catódica, Cristalinidad, Recocido |
| Keyword: | Engineering, Electronic engineering, Materials engineering, Thin films, Barium titanate, Sputtering, Crystallinity, Annealing |
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