DEFORMACIÓN ELÁSTICA RESIDUAL EN LÁMINAS DE ACERO AISI 304 RECUBIERTAS CON UNA PELÍCULA DE NITRURO DE TITANIO DEPOSITADA POR PVD-MAGNETRON SPUTTERING



Título del documento: DEFORMACIÓN ELÁSTICA RESIDUAL EN LÁMINAS DE ACERO AISI 304 RECUBIERTAS CON UNA PELÍCULA DE NITRURO DE TITANIO DEPOSITADA POR PVD-MAGNETRON SPUTTERING
Revista: Dyna (Medellín)
Base de datos:
Número de sistema: 000544197
ISSN: 0012-7353
Autors: 1
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Institucions: 1Universidad de Antioquia, Departamento de Ingeniería Mecánica,
2Centro Atómico Bariloche-CNEA, Instituto Baleiro-Universidad Nacional de Cuyo, Bariloche. Argentina
Any:
Període: Dic
Volum: 76
Número: 160
Paginació: 207-215
País: Colombia
Idioma: Español
Resumen en español se realizó una caracterización mediante difracción de rayos x (DRX) en láminas de acero inoxidable AISI 304 recubierto con una capa de nitruro de titanio de 3 mm de espesor, obtenida mediante deposición física de vapor (PVD-magnetron sputtering) a una temperatura de 200 ˚C. se tomaron imágenes de microscopía electrónica de barrido (MEB), microscopía óptica (MO) y microscopía de fuerza atómica (MFA) para caracterizar el sustrato, la capa y la zona cercana a la intercara. adicionalmente se determinó la deformación elástica residual asociada con el ensanchamiento de los picos de DRX.
Resumen en inglés X Ray Diffraction characterization was carried out on AISI 304stainless steel sheets covered with a 3mm thick titanium nitride film. The deposition technique used was PVD-Magnetron Sputtering at 200 ˚C. The resulting microstructures of the substrate, the film and the interface were studied by Optical Microscopy (OM), Scanning Electron (SEM) and Atomic Force (AFM) Microscopes. Residual elastic strain associated with the X- ray diffraction (XRD) broadening peaks was also determined.
Paraules clau: Acero AISI 304,
Películas delgadas,
TiN,
Deformación elástica residual,
DRX
Keyword: AISI 304 stainless steel,
Thin solid films,
TiN,
Residual elastic strain,
XRD
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