Revista: | Brazilian journal of physics |
Base de datos: | PERIÓDICA |
Número de sistema: | 000134442 |
ISSN: | 0103-9733 |
Autors: | Carreño, M.N.P1 Pereyra, I |
Institucions: | 1Universidade de Sao Paulo, Esc. Politecnica, Lab. Microelectronica, Sao Paulo. Brasil |
Any: | 1997 |
Període: | Dic |
Volum: | 27A |
Número: | 4 |
Paginació: | 166-169 |
País: | Brasil |
Idioma: | Inglés |
Tipo de documento: | Artículo |
Enfoque: | Analítico |
Disciplines | Física y astronomía |
Paraules clau: | Física de materia condensada, Semiconductores, Depósito químico de vapor, Silicio, Aleaciones |
Keyword: | Physics and astronomy, Condensed matter physics, Semiconductors, Chemical vapor deposition, Silicon, Alloys |
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