Determination of gas reactive species by mass spectrometry in chlorine assisted hot-filament chemical vapor deposition of diamond
Título del documento: Determination of gas reactive species by mass spectrometry in chlorine assisted hot-filament chemical vapor deposition of diamond
Revista: Brazilian journal of physics
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000134436
ISSN: 0103-9733
Autors: 1
Institucions: 1Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais, Sao Jose dos Campos, Sao Paulo. Brasil
2Instituto Tecnologico de Aeronautica, Sao Jose dos Campos, Sao Paulo. Brasil
3Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin", Campinas, Sao Paulo. Brasil
Any:
Període: Dic
Volum: 27A
Número: 4
Paginació: 142-145
País: Brasil
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplines Física y astronomía
Paraules clau: Física de materia condensada,
Diamante,
Películas delgadas,
Depósito químico de vapor,
Cristales,
Espectrometría de masas
Keyword: Physics and astronomy,
Condensed matter physics,
Diamond,
Thin films,
Chemical vapor deposition,
Crystals,
Mass spectrometry
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