Grabado de ranuras en V con soluciones alcalinas, para su uso en Mosfets no planares
Título del documento: Grabado de ranuras en V con soluciones alcalinas, para su uso en Mosfets no planares
Revista: Memoria Electro - Congreso Internacional de Ingeniería Electrónica
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000164980
ISSN: 1405-2172
Autores: 1
Instituciones: 1Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México
Año:
Periodo: Oct
Volumen: 19
Paginación: 72-74
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico, descriptivo
Disciplinas: Ingeniería
Palabras clave: Ingeniería de instrumentos,
Ingeniería electrónica,
Microprocesadores,
Electrodos de silicio,
Diseño de circuitos,
Mosfets no planares
Keyword: Engineering,
Electronic engineering,
Instrumentation engineering,
Non planar mosfets,
Microprocessors,
Circuit design,
Silicon microelectrodes
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